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硬质合金:石墨舟皿等离子喷涂氧化钇、氧化锆系统生产线

喷涂加工 行业应用 1340


石墨舟皿等离子喷涂氧化钇、氧化锆系统生产线是专为半导体和高温工业应用设计的先进解决方案。广州三鑫通过使用先进的等离子喷涂技术,采用SX-80等离子喷涂设备在石墨舟皿上喷涂氧化钇(Y₂O₃)和氧化锆(ZrO₂)涂层,显著提升其耐高温性能、抗氧化性和使用寿命。

【石墨板托盘 石墨周皿 电子陶瓷承烧板 等离子氧化锆陶瓷耐高温涂层 真空炉烧结炉石墨板托盘】

石墨舟皿表面氧化锆涂层采用等离子喷涂设备加工,并进行了粗糙度的改进。

石墨舟皿表面氧化锆涂层太粗会使烧结产品与涂层粘连,导致产品变形,影响烧结质量,本公司进行了工艺改进:  

1、提高氧化锆粉末里面氧化钇含量 

2、采用更加细小粒径的氧化锆(ZrO2)粉末
3、调整等离子喷涂工艺参数
可以提高现在等离子喷涂电压,适当减小喷涂电流,降低送粉速度,降低送粉气压,让粉末充分熔化、雾化,可以使提高涂层的光洁度,具体工艺参数需要贵公司寄样板和材料给我们公司试验摸索。
4、喷涂前的喷砂粗化处理采用更加细一级的硅砂
喷涂前的喷砂粗化处理采用更加细一级的硅砂,可以使喷涂前的周皿表面光滑,底层光滑等离子喷体层表面也会相对光滑。

关键特点

  1. 高性能涂层:
    • 氧化钇涂层: 提高热稳定性和抗氧化性能。
    • 氧化锆涂层: 增强硬度和耐磨性。
  2. 先进的喷涂技术:
    • 等离子喷涂设备: 高温等离子焰流确保涂层的均匀性和致密性。
    • 自动化控制系统: 提供精确的参数控制,确保一致的涂层质量。
  3. 高耐温性:
    • 能够承受高达 2000°C 的高温环境。
    • 适用于半导体生产和高温工业应用。
  4. 长寿命:
    • 显著延长石墨舟皿的使用寿命,减少更换频率。
    • 降低维护成本,提高生产效率。
  5. 耐用性:
    • 强大的抗氧化能力和抗疲劳性能。
    • 适应恶劣的工作环境。
  6. 易于维护:
    • 设计紧凑,便于清洁和维修。
    • 用户友好的控制系统,简化操作流程。
  7. 广泛的适用性:
    • 半导体行业: 适用于晶圆制造、芯片封装等工序。
    • 高温工业: 适用于冶金、陶瓷加工等领域。

应用领域

  • 半导体行业: 晶圆制造、芯片封装、扩散炉等。
  • 高温工业: 冶金炉、陶瓷烧结炉、玻璃熔化炉等。
  • 航空航天: 高温部件保护和修复。
  • 电力行业: 锅炉受热面、汽轮机叶片等高温部件的保护。

喷涂前


等离子设备喷完氧化锆氧化涂层后

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